Chất bán dẫn Brooks instrument GP200, SLA7840, PC100, VDM300, v. v.

Kiểm soát quá trình chính xác và có thể tái tạo: đây là yếu tố thúc đẩy chính trong sản xuất các sản phẩm điện tử và bán dẫn. Vì mỗi thế hệ công cụ, quy trình và cụm lắp ráp liên tiếp đã được phát triển và triển khai, các yêu cầu về hiệu suất cực cao, cực cao và nhu cầu đổi mới và cải tiến liên tục trong các thiết bị đo lưu lượng và áp suất bán dẫn vẫn chưa dừng lại–và tiếp tục – không ngừng.

Brooks Cụ bán dẫn sản phẩm đáp ứng các yêu cầu này bằng cách cung cấp các giải pháp tiên tiến nhất của ngành để đo lưu lượng, áp suất, chân không và cung cấp hơi nước. Danh mục sản phẩm bán dẫn của chúng tôi dựa trên nhiều năm kinh nghiệm của chúng tôi trong việc tạo ra nhiều thiết bị đo lường và điều khiển mang tính cách mạng, hiện là thành phần tiêu chuẩn của các công cụ công nghệ ở tất cả các cấp của ngành.

Bộ điều khiển và đồng hồ đo lưu lượng khối lượng khí có độ tinh khiết cao và cực cao

Dòng: GP200, Gf100 EtherCAT, GF100, 9861.

Thiết bị đo áp suất và chân không

Dòng: 122 (đồng hồ đo áp suất), 122 (rơ le và cảm biến áp suất), SolidSense II, SLA7840, PC100, CMC, xactorr.

Sản phẩm dạng lỏng và hơi nước

Dòng: VDM300, Petra - ĐẾM IMS.