质量流量控制器和仪表 Brooks instrument SLA，GF40，GP200，9861，Quantim等。

要真正控制任何过程，您必须准确测量正在发生的事情-在供应管线中，在腔室中，在每个点上-然后实时使用这些信息来保持过程的精确计划和生产。

布鲁克斯仪器，世界领先的精确测量和控制领域的液体，继续创新的热质量流技术。 从热流量传感器和质量流量测量系统开始，Brooks Instrument不断发布新产品并改进现有系统，以解锁质量热流量测量精度，速度，准确性和可重复性的新水平。

主要原因 Brooks仪器质量流量传感器 全球使用最广泛的包括:

• 业内最佳系列的数字质量流量计等产品，以满足各种各样的需求。
• MultiFlo™技术允许单个设备在不将设备从系统中移除的情况下更改气体类型和范围，并提高过程气体测量的实际精度。 MultiFlo™可与热传感器或流量传感器配合使用。
• 完整的产品范围包括弹性和金属密封的热质量流量传感器和科里奥利质量流量传感器的选择。
• 超高纯度质量流量传感器和设备设计，以满足薄膜，半导体和其他高科技行业的要求。

弹性密封隔热

系列: SLA5800，GF40，5850E，5850i，SLAMf，4800，5700。

密封金属

系列: GP200，GF100EtherCAT，GF100，GF80，5850EM。

高温热

系列: 5850EMH，9861．

科里奥利

系列: 量化。