BROOKS INSTRUMENT SLA5863 Расходомер массовый

Благодаря широкому спектру опций и функций контроллеры давления серии SLA5863 позволяют автоматизировать управление давлением и использовать преимущества согласованности процесса при использовании единой платформы в сочетании с нашими ведущими в отрасли контроллерами массового расхода и счетчиками серии SLA5863.

Серия SLA5863 отличается высокой точностью, высокой нулевой стабильностью и высокой повторяемостью, подкрепленными нашими превосходными метрологическими системами и методами, использующими системы калибровки первичного потока, непосредственно прослеживаемые до международных стандартов.

• Время отклика: <1 секунда
• Полномасштабные расходы потока до 50 lpm
• Максимальное давление: 4500 psig
• Главная технология клапана уменьшает утечку-мимо и увеличивает turndown
• Прочная, крепкая верхняя крышка металла предотвращает повреждение во время установки
• Независимый & легко доступный диагностический/порт обслуживания
• Широкий массив вариантов связи включая DeviceNet®, Profibus® и RS-485 плюс сетноые-аналогов интерфейсы

Характеристики SLA5863

Технические характеристики

Полный диапазон расхода ² (N2, уравнение 0 град. C): >1100 - 2500
slpm
Поддерживаемые газы²: Воздух, CO2, азот и кислород
Точность потока (включая линейность и погрешность измерения системы калибровки в соответствии с SEMI E69)³: ±1.0% of FS
Повторяемость и воспроизводимость: 0,20% S.P.
Динамический диапазон (диапазон регулирования): 150:1
Время отклика: < 3 Second
Стабильность нуля: < + 0.2% F.S. per year
Температурный коэффициент: <0.05% F.S. per °C
Клапан закрыт (утечка): 15.6 sccm
Ряд подачи (емкость полного маштаба): .003 - 50 лпм
Точность:

• Давление
  • ±0.25% датчика FS (FS > 300 psia)
  • ±0.12% датчика FS (FS < 300 psia)
• Подача
  • N/A

Повторимость: 0.20% SP

Коэффициент температуры подачи: ±0.1% из FS в °C

Максимальное давление

• До 50 lpm: 1500 psia/100 bara
• До 10 lpm: 4500 psia/310 bara

Ряд контроля давления:

• Turndown 100:1 для FS от 1-50 lpm
• 50:1 для всех других подач FS

Время отклика: Система зависимая