BROOKS INSTRUMENT GP200 Расходомер массовый с эластомерным уплотнением

Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.

GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.

Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.

Характеристики GP200

Технические характеристики

Ряд подачи (полная емкость масштаба): 3 sccm - 50,000 sccm
Точность:

• Нулевой клапан утечки:
  • <±1% S.P. (5-100% F.S.)
  • <±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.)
• Клапан уплотнения металла:
  • <±1% S.P. (5-100% F.S.)
  • <±0.05% F. S. (2-5% F.S.)

Повторимость: < ±0.15% S.P.
Время отклика: 280 ± 20 мс соответствовали переходному отклику, для любого восходящего или нисходящего ненулевого уставочного значения
Multi-Газ & конфигурируемость рядаСтандарт MultiFlo™
Нечувствительность давления переходная: <± 1% S.P. до скачка давления входа 40 psi/sec