BROOKS INSTRUMENT 9861 Расходомер массовый с эластомерным уплотнением

Серия модель 9861остается оптимальным выбором для критической доставки паров прекурсора и легирующей примеси в производстве полупроводников, MOCVD и оптического волокна. Продукт представляет собой тепловые регуляторы массового расхода и расходомеры, предназначенные для сложной высокотемпературной доставки конденсирующихся прекурсоров и легирующих примесей. Высокочистый металлический проточный тракт с высокой степенью герметичности обеспечивает совместимость со всеми технологическими газами и парами. Запатентованный IsoSensor™ представляет собой высокостабильный датчик расхода, совместимый с повышенными температурами окружающей среды [≤ 150°C (≤ 300°F)], характерными для обогреваемых газопроводов и газовых боксов (системы выпечки). Сверхнизкий дрейф датчика IsoSensor™ снижает потребность в частой повторной установке нуля и повторной калибровке, типичных для высокотемпературных приложений.

Характеристики 9861

Технические характеристики

Быстрый старт: ≤ 1,0 с (согласно SEMI E17-91)
Плавный пуск Линейный: 20 % в секунду (от 0 до 100 % за 5 секунд)
Точность (N2 эквивалент)

• от 35% до 100% полной шкалы Уставка ±1% (согласно SEMI E56-96)
• < 35% полной шкалы ±0,35% от полной шкалы (согласно SEMI E56-96)

Повторяемость (полная шкала): ±0,15% (согласно SEMI E56-96)
Линейность (полная шкала): ±0,5% (согласно SEMI E27-92)
Ноль: 0,05% полной шкалы на °C
Диапазон: 0,1% полной шкалы на °C
Герметичность: 1 x 10-10 атм-см3/с (He) (согласно SEMI E16-90)
Автоматическая установка нуля: Дополнительно (программируется пользователем)
Дрейф нуля: ≤ 0,6% в год без автоматической установки нуля
Чувствительность теплового сифонирования и пространственного положения: < 0,1 % полной шкалы (30 фунтов на кв. дюйм SF6)